缺陷密度 - 電子時報

缺陷的種類相當多，舉凡製程上非預期的因素，例如微塵、刮. ... 由於缺陷攸關良率高低，一般來說，良率與晶圓製程中的金屬層多寡、平均每層的缺陷密度 ... 智慧應用 影音 DIGITIMES 首頁 未來車產業鏈 蘋果供應鏈 產業九宮格 每日椽真 AIoT 5G 伺服器 CarTech 智慧製造 智慧城市 展會 影音 新創專區 科技網 首頁未來車產業鏈蘋果供應鏈產業九宮格每日椽真產業區域議題觀點科技商情IT應用推薦解決方案 Research AsiaInsight亞洲科技戰情智慧醫療智慧製造智慧家庭物聯網寬頻與無線5GFocusCloudAIFocus電腦運算伺服器行動裝置與應用智慧穿戴CarTechIC製造IC設計顯示科技與應用全球產業數據 智慧應用 首頁報導專題新創專區大肚山產創報解決方案 電子報訂閱 椽經閣 首頁Colley&Friends名家專欄作者群關於專欄 電子報訂閱 活動+ 首頁所有活動DForum研討會 TECH EV ASIA INNOVATIONS RESEARCH OPINIONS BIZFOCUS DBook 科技網 IT應用 缺陷密度 楊智家 2009-09-18 缺陷(Defect)密度指晶片上，非製程當中預期結果，對於晶片品質及良率有負面影響的獨立污染區或是不規則區域。

缺陷的種類相當多，舉凡製程上非預期的因素，例如微塵、刮痕、光阻覆蓋不全、區塊缺陷(ClusterDefect)、金屬污染等等。

由於缺陷攸關良率高低，一般來說，良率與晶圓製程中的金屬層多寡、平均每層的缺陷密度呈現相關，通常來說，所以晶片面積越大、金屬層數目越多或是缺陷密度越大都會使良率降低，也因此，更突顯半導體業者採取晶圓偵測設備找出缺陷區域並加以自動化分類的重要性。

缺陷密度也被晶圓廠用來作為製程品質的指標，以台積電、聯電為例，目前新進製程45奈米的缺陷密度已經達到一定成熟水準，台積電更號稱最低缺陷密度已可達趨近於零左右。

(宋丁儀) 儲存｜ 列印｜ 意見反應 意見反應 近７天熱門報導1聯詠、瑞昱迎新單　台積電、聯電沾光同樂2NB品牌下修出貨、削減訂單　Chromebook大跌逾3成拖累3高通升級版旗艦AP蓄勢待發　聯發科真正考驗即將到來？4MacBook遷移至重慶生產？蘋果、ODM將創雙贏5台積電打造4X效能怪獸　CoWoS-L助AI晶片再攻頂 商情焦點   全達國際攜手合作夥伴共同發表全球首台互動NFT智販機   Sophos2022年勒索軟體現況報告揭露勒索軟體攻擊   Zyxel推出全新經濟實惠的家用WiFi6無線網路產品   宇達資訊於2022COMPUTEX分享最新工控儲存技術方案   Microchip針對電力營運商推出高備援的安全網路授時和同步設備