KLA-Tencor 推出5D 圖案成型控制解決方案的關鍵系統 - 科技新報

KLA-Tencor 公司今天宣佈，推出WaferSight PWG 已圖案晶圓幾何形狀測量系統、LMS IPRO6 光罩圖案位置測量系統和K-T Analyzer 9.0 先進數據分析系統。

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這三種新產品支援KLA-Tencor獨特的5D圖案成型控制解決方案，此方案著重於解決圖案成型製程控制上的五個主要問題—元件結構的三維幾何尺寸、時間效率和設備效率。

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