薄膜製程英文
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4.可以沉積緻密且 ... 參考文獻. http://www.isu.edu.tw/upload/81201/43/news/ postfile_12877.pdf - 義守大學講義. https://goo.gl/wYviBk -光鋐科技講座投影片.[PPT] 前驅物英文:Functional group. 為決定化合物的 ... 可以成長大面積、均勻性、具化學劑量比的薄膜,且在高深寬比 (High aspect ratios)的 ... 前驅物的設計與製程的溫度掌控是ALD最重要的部分。
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