Twyman-Green型横向剪切干涉仪的原理和应用 - 中国光学期刊网

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本文介绍了一种新型横向剪切干涉仪的工作原理.该干涉仪使用Twyman-Green干涉仪作为分束器,光栅作为检测元件,并利用实时Moire差分法消除干涉仪的系统误差.这种干涉仪的 ...



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