壓力傳感器專題| 特集

讓我們仔細看看每種方式的工作原理。

Ⅰ. 半導體壓電阻抗擴散式（Si-MEMS方式）. Sensor chip_Si-MEMS Cross ... 會員登錄/免費註冊 免費註冊 會員登錄 關閉 產品搜尋 1. 請在下面的窗口中按系列名稱或型號搜索產品。

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壓力傳感器檢測和測量的壓力類型，大致分為以下三種。

①以大氣壓力為基準所表示的壓力大小=表壓 ②以絕對真空為基準所表示的壓力大小=絕壓 ③相對於某一任意比較的壓力(基準壓力)所表示的壓力大小=差壓     －目錄－ 1. 何謂壓力傳感器？ (1) 引言 (2) 壓力傳感器原理 2. 壓力傳感器業務介紹 (1) 歷史 (2) 豐富的產品陣容 3. 我們的優勢 (1) 一站式業務架構 (2) 定制化個別對應 4. 關於壓力傳感器的常見問題 2.壓力傳感器原理         壓力傳感器在受壓部使用應變片作為壓力敏感元件，通常是將金屬箔式應變片或是膜片粘合到圓柱形彈性體上。

由於膜片受到壓力而變形，將這種物理變形引起的電阻變化轉換為電信號以檢測和測量壓力。

日電產科寶電子提供兩種傳感方式的壓力傳感器：半導體壓電阻抗擴散式(Si-MEMS)方式和使用壓電薄膜(SUS隔膜)方式。

每方式都有個自的特點，我們根據用途提供種類繁多的壓力傳感器產品。

讓我們仔細看看每種方式的工作原理。

  Ⅰ.半導體壓電阻抗擴散式（Si-MEMS方式） 隔膜橫截面 Si-MEMS方式主要利用了單晶矽的壓阻效應，是指當半導體受到應力作用時，由於應力引起能帶的變化，能谷的能量移動，使其電阻率發生變化的現象。

單晶矽用於壓敏元件以形成隔膜。

通過熱擴散在矽單晶上形成的壓阻效應，接收隔膜在壓力下的變形作為應力。

如下圖所示，連接4個壓電電阻，組成惠斯通電橋電路。

該橋式電路由恆定電流(標稱電壓DC1.5mA)驅動。

當施加壓力時，R2和R3的阻值增加，另一個R1和R4的阻值減小，導致電橋電路不平衡，輸出端出現電壓差。

該電壓差成為與壓力成正比的輸出電壓。

負壓原理與正壓原理相同，只是極性相反而已。

右側隔膜的截面圖中，為了便於理解，故意誇大了隔膜的變形(拉伸或彎曲)(指紅色虛線部分)，但實際隔膜變形量極小，幾乎是幾微米無法看到的。

由於Si-MEMS方式，可以通過輕微的機械變形獲得很大的電阻變化。

作為壓力輸出特性，特徵是相對於扭曲量(=應變比)的輸出轉換效率高。

  Ⅱ.壓電薄膜傳感器（SUS隔膜法） 壓電薄膜傳感器元件橫截面圖 Ⅱ.壓電薄膜傳感器（SUS隔膜法） 該方式具有通過絕緣膜在金屬隔膜上形成一種薄膜動態應變的結構。

當施加壓力時，金屬膜片發生變形，形成在膜片上的薄膜應變片發生變形，從而檢測出應變片電阻值的變化。

如下圖所示，薄膜型傳感器也與硅MESM一樣，連接四個薄膜電阻，形成惠斯通電橋電路。

薄膜電阻由恆定電壓驅動，當施加壓力時，金屬膜片上形成的薄膜電阻發生變形(拉伸或彎曲)以檢測表電阻值的變化，得到與壓力成正比的電壓信號。

與Si-MEMS方法相比，壓力輸出特性小，因此不適用於低壓區域，適用於需要高真空的高壓應用環境裡。

另外，這種方法的特點之一是可以拓寬工作溫度範圍，受溫度影響小。

  第2章 壓力傳感器業務介紹         1.歷史         我們的壓力傳感器業務，自從1980年開始製造和銷售電子血壓計以來，已經發展並持續了40多年。

現在被廣泛應用於半導體製造設備・工業機械・醫療設備・分析設備・測量設備和液壓設備等各個行業。

佐野事業所航拍照片 開發技術中心 業務基地是櫪木縣的佐野事業所。

我們在這裡生產從傳感器芯片到最終產品的所有業務，如今已發展成為我們公司的領先業務。

  2.豐富的產品陣容         我們擁有模塊型，內置放大器型，通過施加特定的壓力值來打開和關閉壓敏元件的觸點的壓力開關，以及帶顯示的壓力計等，多種不同形式的壓力傳感器產品。

傳感器元件的種類有，半導體壓電阻抗擴散式Si-MEMS方式和壓電薄膜(SUS)方式。

其中Si-MEMS方式有，用於非腐蝕性氣體的單晶矽膜片和通過在接液部分設置SUS隔膜構成矽雙隔膜(矽油封裝隔離)和，可用於液體等腐蝕性介質裡的兩種。

我們根據用途和環境適當使用傳感器元件，並將其開發成各種最終產品。

方法Si-MEMS (單晶矽薄膜)Si-MEMS (雙薄膜)金屬薄膜 (SUS薄膜) 構造 單晶矽元件通過玻璃中包含的Na離子通過陽極鍵合而鍵合到玻璃基座上。

元件直接接收介質。

SUS隔膜通過激光焊接與外殼連接，壓力通過矽油傳送到矽元件裡。

通過使絕緣膜穿過SUS薄膜片，氣相沉積形成壓電薄膜。

介質 無腐蝕性氣體 不腐蝕接液部材的氣體/液體 不腐蝕接液部材的氣體/液體 特徵 通過使用絕緣膜穿過金屬膜片，氣相沉積形成壓電薄膜 特性隨溫度而變化，但在一定溫度下再現性高 壓力高/輸出大，高精度 (在額定100 kPa裡，約100 mV) 無機械運動部件，使用壽命長 大批量生產和低成本製造可能 適用於真空, 高溫和低溫 溫度引起的特性變化很小 通過單一型號的批量生產可以實現低成本製造 電解拋光對應 壓力傳感器各種陣容系列 壓力传感器模塊 P-2000,P-3000S P-8300,P-8305,P-8505 ― 內置放大器壓力傳感器 PA-20,PA-100,PA-500 P-7100,PA-750/758,PA-800,PA-830/838,PA-838-D,PA-850/858,PA-860/868,PA-870/878 高真空對應:PA-920S/928S高溫對應:PA-930/930-A 壓力開關 PS20,PS30,PS40,PS6,PS60 PS8,PS83,PS85,PS86,PS87 高真空對應:PS91,PAS91 壓力顯示計便攜式數字壓力計 PG-30,PG-200,PG-100,PG-100N PG-35,PG-75,PG-208,PG-100B 高真空對應:PG-20,PG-35L高圧對應:PG-35H ※此外，還標準陣容PZ-30和PZ-200兩個系列的壓力指示器。

近年來，我們還積極推出帶有比例輸出的內置小型放大器的類型和使用薄膜元件的高真空・高溫對應的新產品等，正在擴大我們的業務領域。

型號選擇清單(規格速查表) 到產品搜索篩選系統   第3章 我們壓力傳感器的優勢         1.一站式業務架構         我們充分利用半導體技術從傳感器元件內部製造，並通過安裝，溫度補償，電子電路附加和外殼等工藝進一步開發和製造壓力傳感器最終產品。

矽片⇒傳感器元件 壓力傳感器模塊 內置放大器的各種壓力傳感器 對應多品種・小批量的生產為基礎，從開發設計到傳感器元件製造工程，產品組裝工程/校準，全部在各部門的綜合品質管理下進行是我們最大的特點。

並且可以詳細對應特殊規格和各種客戶需求的這種業務結構正是我們的強項。

  2.定制產品個別對應         ― 個別對應方針 ― 在壓力傳感器業務中，我們在加強上述標準產品陣容的同時，以客戶至上為座右銘，根據市場和客戶的個別需求，積極支持定制對應和共同開發。

對於個別對應的敝司方針為如下: 如果可以應用我們現有的產品/技術，並考慮到商業可行性判斷可以商業化的話，我們將積極對應。

即使我們擁有的技術在依賴時稀缺，但如果判斷共同開發是可能的，也會積極考慮。

我們還將按行業收集信息，並主動提出客戶需要的產品和服務。

我們的壓力傳感器供應系列總數為92機種，按型號數為1,992種。

其中，個別對應，即所謂的特殊產品，按貨幣計算佔總數的近80%。

結果表明，我們已經能夠響應市場和客戶的個別要求提供了許多產品和服務。

下面，我們將介紹一些特殊產品的具體例子。

  個別對應實例 1.電解拋光+無油處理+清潔包裝 電解拋光/無油處理/清潔包裝，通常是半導體製造設備中的在線管道應用種必不可少的。

首先，在「電解拋光」中通過化學拋光提高平整度，使受壓部分不殘留雜質。

此外，「無油處理」通過清潔受壓部分的有機物來防止污染。

同樣，「清潔包裝」可防止來自外部的污染，並保證壓力傳感器產品在客戶使用之前的清潔狀態。

  2.PA-75系列:電纜連接器對應/電纜本體直出 標準型號 ①電纜連接器規格 ②電纜本體直出規格 PA-750/758系列的標準產品使用連接器類型，以便主體和電纜可以連接和拆卸，電纜尖端有引線。

還有根據市場/客戶的需求，具有(1)指定連接器的安裝和(2)從主體直接電纜輸出的兩個實績。

  3.PS20:特殊接頭規格 標準型號 特殊接頭規格 PS20系列的標準產品是M5公螺紋和M5母螺紋，但我們根據市場需求提出了對應特殊接頭的方案，這些接頭可以在延長模塊尖端並製作M5孔後用安裝螺釘固定。

  4.其他案例 a.规格/性能变更 壓力範圍 對應標準系列以外的範圍，變更基準壓力單位 (PSI單位等) 性能變更 高精確度 (輸出校準誤差，溫度特性改善，耐壓改善等) 輸出變更 模擬輸出值變更,I2C/SPI對應等 電源電壓變更 變更為所需的電源電壓裡 環境溫度變更 變更為符合所需環境溫度的規格 清潔對應 電解拋光,清洗,清潔包裝等 調零 添加調零功能 b.外觀/形狀變更 接頭規格變更 形狀,尺寸,材料等 電纜變更 長度,引線直徑,連接器加工,端子加工,標記等 對應OEM 銘版, 面板印刷, 錶殼換色等 c.其他 定制開發 電路板製造, 外殼製造, 高速響應等   最終，我們將考慮業務可行性等做出適當的決定。

請參考上述內容，隨時通過以下按鈕與我們聯繫以獲取定制產品對應和共同開發的要求。

諮　詢  關於壓力傳感器的常見問題  特集FEATURING 激光雷達(LiDAR)用多面體反射鏡和激光掃描器 微型鼓風機採用非接觸型空氣動壓軸承 壓力傳感器專題 何謂壓力傳感器？ 引言 壓力傳感器原理 壓力傳感器業務介紹 歷史 豐富的產品陣容 我們的壓力傳感器優勢 一站式業務架構 定制產品個別對應 壓力傳感器 / 漏液傳感器常見問題FAQ 提供CAD數據！對應任何CAD格式！ × 網站首頁 特集 激光雷達用多面體反射鏡和激光掃描儀 微型鼓風機採用非接觸式空氣動壓軸承 壓力傳感器 特集 + FAQ 集 提供CAD在線下載服務對應任何3DCAD格式! 產品介紹 開關 可變電阻 衰減器 數位電位器 白光LED驅動器 過電流保護器 電流感應器 壓力傳感器/壓力開關 漏液感測器 電位器 操縱桿編碼器 旋轉編碼器 步進馬達 滑環 螺線管 直流馬達 微型鼓風機 風扇馬達 多面形激光馬達 公司簡介 關於我們 公司信息 公司集團共同標語 CSR憲章 公司簡介和產品指南PDF下載 銷售網路 業務領域 產品搜尋篩選系統 銷售網路 環境對策 衝突礦物聲明 新聞中心 聯系諮詢 網站導航