友威科技股份有限公司::濺鍍,蝕刻,鍍膜,真空設備,電漿蝕刻,乾 ...

UVAT友威科技股份有限公司 技術辭典 TECHNOLOGY 技術支援技術辭典 濺鍍(Sputtering) 濺鍍（sputtering）是利用電漿（plasma）對靶材料進行離子轟擊（ionbombardment），而將靶材料表面的原子撞擊出來，這些靶原子以氣體分子型式發射出來，到達欲沉