CN105988311B - 一种对准图形及其制作方法- Google Patents

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[0002]半导体器件的后段DPS制程中包括:芯片切割(Die saw)/取放料PNP (pick and ... 会偏差一个芯片的距离,使DPS制程中的布局图(map)与实际晶圆存在偏差。

CN105988311B-一种对准图形及其制作方法 -GooglePatents 一种对准图形及其制作方法 Info Publicationnumber CN105988311B CN105988311B CN201510094928.5A CN201510094928A CN105988311B



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