博客來-半導體製程設備(四版)
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半導體元件由矽土製成矽晶圓， 再經數百個製程步驟，才製作出256M級的DRAM。
這期間所使用的機器，主要的也不過十數種。
晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像 ...
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