半導體製程設備- 三民網路書店 - 三民書局

二、半導體設備之定義與範圍. 根據經濟部工業產品分類，國內半導體設備共分為四類，分別為半導體製程. 設備、半導體封裝設備、半導體製程用之週邊設備與 ...

半導體元件由矽土製成矽晶圓， 再經數百個製程步驟，才製作出256M級的DRAM。這期間所使用的機器，主要的也不過十數種。晶圓成長爐、磊晶反應器、步進照像 ...

書名：半導體製程設備技術(2版)，語言：繁體中文，ISBN：9789571195131，頁數：424，出版社：五南，作者：楊子明,鍾昌貴,沈志彥,李美儀,吳鴻佑,詹家瑋, ...

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書名：半導體製程設備，ISBN：9789571152509，出版社：五南圖書出版，作者：張勁燕，頁數：586，出版日期：2009/09/01，類別：電子工程.