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WAFER四大製程(應該是五製程) 黃光區(Photo) 蝕刻區(Etch) 薄膜區(Thinfin) 擴散區(Diffusion) 離子植入區(CMP) 半導體製程: 在半導體製造過程中有幾個比較重要 ... 這裡記錄了我的點點滴滴! 200907261035WAFER四大製程?WAFER四大製程(應該是五製程)黃光區(Photo)蝕刻區(Etch)薄膜區(Thinfin)擴散區(Diffusion)離子植入區(CMP)半導體製程:在半導體製造過程中有幾個比較重要的關鍵:A.擴散→oxidation(氧化),doping(摻雜)



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